SKY® CAPACITANCE DIAPHRAGM GAUGE – AllCeramic™ CDG160A-C / CDG160A-CS
Der INFICON SKY AllCeramic CDG160A-C ist der einzige vollständige metallfreie bei 160°C temperaturgesteuerte Kapazitätsmembranmanometer für anspruchsvolle Anwendungen wie Oxidation, Diffusion und chemische Niederdruckgasphasenabscheidung. Alle Oberflächen, die dem Vakuum ausgesetzt sind, wie Leitungen, Plasmaschild und Kontaminationsschutzschild, bestehen aus korrosionsbeständiger ultrareiner Aluminiumoxid-Keramik. Somit ist eine mögliche Metallverunreinigung durch das Messgerät ausgeschlossen.
Der INFICON SKY AllCeramic CDG160A-C integriert bewährte Sensortechnologie der INFICON CDG160A-Baureihe von Messgeräten für zuverlässige und wiederholbare Leistung bei chemischer Niederdruckgasphasenabscheidung und anderen schwierigen Anwendungen in der Halbleiterherstellung.
– Gerne senden wir Ihnen für das ausgewählte Produkt ein ausführliches technisches Datenblatt zu, fragen sie uns danach!