BAYARD-ALPERT PIRANI GAUGE – BPG400

Vorteile
  • Extrem großer Messbereich von 5x10 -10 mbar bis Atmosphärendruck (3,8x10 -10 Torr bis Atmosphärendruck)
  • Exzellente Wiederholbarkeit im Prozessdruckbereich von 10 -8... 10 -2 mbar von 5%
  • Die Pirani-Verriegelung schützt das Bayard-Alpert-System vor vorzeitigem Ausbrennen des Filaments und übermäßiger Verunreinigung durch Hochdruckbetrieb
  • Langlebiges Ytriumoxid- beschichtetes Iridiumfilament
  • Optionale grafische Anzeige und Feldbus-Schnittstellen erhältlich
  • Automatische Hochvakuum-Pirani-Justierung reduziert die erforderlichen Eingriffe durch den Betreiber
Anwendungen
  • Druckmessung in Halbleiterprozess- und Transferkammern
  • Industrielle Beschichtung
  • Allgemeine Vakuummessung und -steuerung im niedrigen bis ultrahohen Vakuumbereich
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BAYARD-ALPERT PIRANI GAUGE – BPG400

Die INFICON Bayard-Alpert Pirani Combination Gauge, BPG400, bietet zwei Messgeräte in einer einzigen kompakten Einheit und misst im Bereich von 5×10-10 mbar bis Atmosphärendruck (3,8 x 10-10 Torr bis Atmosphärendruck). Durch Kombination verschiedener Technologien wird Installation, Einrichtung und Integration vereinfacht. Die BPG400 ermöglicht erschwingliche, wiederholbare Messungen im Prozess- bis Basisdruckbereich in einem kostengünstigen Paket.

– Gerne senden wir Ihnen für das ausgewählte Produkt ein ausführliches technisches Datenblatt zu, fragen sie uns danach!