Vakuum-Messtechnik

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SKY® CAPACITANCE DIAPHRAGM GAUGE – CDG025D / CDG025D-S

Vorteile

Vollskalabereich von 100mTorr bis 1.000 Torr
Schnelle Stabilität nach dem Einschalten
Schnelle Wiederherstellung von Atmosphärendruck
Korrosionsbeständiger Keramiksensor
Exzellente langfristige Signalstabilität
Temperaturkompensiert
Sensorschutz vor Verunreinigung
Nullfunktion per Knopfdruck
Vielfältige Stromversorgungsmöglichkeiten
2 Sollwerte (optional)
RS232-Schnittstelle (optional)

Anwendungen

Geräte zur Halbleiterherstellung für Ätzen, CVD, PVD und ALD
Geräte zur Herstellung von Datenspeichern und Bildschirmen
Ausrüstung für industrielle Vakuumverfahren
Generelle Druckmessung mit hoher Präzision

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SKY® CAPACITANCE DIAPHRAGM GAUGE – CDG025D-X3

Vorteile

Vollskalabereich von 100mTorr bis 1.000 Torr
Schnelle Stabilität nach dem Einschalten
Schnelle Wiederherstellung von Atmosphärendruck
Korrosionsbeständiger Keramiksensor
Exzellente langfristige Signalstabilität
Temperaturkompensiert
Sensorschutz vor Verunreinigung
Nullfunktion per Knopfdruck
Vielfältige Stromversorgungsmöglichkeiten
2 Sollwerte (optional)
RS232-Schnittstelle (optional)
Reinraum konform

Anwendungen

Geräte zur Halbleiterherstellung für Ätzen, CVD, PVD und ALD
Geräte zur Herstellung von Datenspeichern und Bildschirmen
Ausrüstung für industrielle Vakuumverfahren
Generelle Druckmessung mit hoher Präzision

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SKY® CAPACITANCE DIAPHRAGM GAUGE – CDG045D

Vorteile

Niedrigere Betriebskosten, 50% schnellere Aufheizung, energieeffizienter niedriger Stromverbrauch
Einfache Integration, breites Spektrum an Vollskalen, Flanschen und Schnittstellen, standardmäßig mit zwei Sollwerten
Einfacher Nullbefehl per Tastendruck oder Remotesignal, Nullpunktverschiebung einstellbar
Diagnoseanschluss für schnellere Wartungsarbeiten
Zwei Jahre Garantie, längere Lebensdauer mit fortschrittlichem Heizkonzept und Messgeräteschutz
Keine langfristige Neukalibrierung aufgrund von exzellenter Signalstabilität und Wiederholbarkeit, selbst bei anspruchsvollen Plasmaanwendungen
Prüfzeichen und Standards: CE, EN, UL, SEMI,RoHS

Anwendungen

Ätz-, CVD-,PVD-, und andere Halbleiterfertigungsprozesse
Chemische und korrosive Prozesse
Allgemeine Dünnschicht- und Vakuumprozesse
Referenzsensor zur Überwachung von Testinstrumenten gemäß internationaler Standards
Transferstandard für Nachweisbarkeitsmessungen

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SKY® CAPACITANCE DIAPHRAGM GAUGE – CDG100D

Vorteile

Niedrigere Betriebskosten, 50% schnellere Aufheizung, energieeffizienter niedriger Stromverbrauch
Einfache Integration, breites Spektrum an Vollskalen, Flanschen und Schnittstellen, standardmäßig mit zwei Sollwerten
Einfacher Nullbefehl per Tastendruck oder Remotesignal, Nullpunktverschiebung einstellbar
Diagnoseanschluss für schnellere Wartungsarbeiten
Zwei Jahre Garantie, längere Lebensdauer mit fortschrittlichem Heizkonzept und Messgeräteschutz
Keine langfristige Neukalibrierung aufgrund von exzellenter Signalstabilität und Wiederholbarkeit, selbst bei anspruchsvollen Plasmaanwendungen
Prüfzeichen und Standards: CE, EN, UL, SEMI,RoHS

Anwendungen

Ätz-, CVD-,PVD-, und andere Halbleiterfertigungsprozesse
Chemische und korrosive Prozesse
Allgemeine Dünnschicht- und Vakuumprozesse

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SKY® CAPACITANCE DIAPHRAGM GAUGE – CDG160D / CDG200D

Vorteile

Niedrigere Betriebskosten, 50% schnellere Aufheizung, energieeffizienter niedriger Stromverbrauch
Einfache Integration, breites Spektrum an Vollskalen, Flanschen und Schnittstellen, standardmäßig mit zwei Sollwerten
Einfacher Nullbefehl per Tastendruck oder Remotesignal, Nullpunktverschiebung einstellbar
Diagnoseanschluss für schnellere Wartungsarbeiten
Zwei Jahre Garantie, längere Lebensdauer mit fortschrittlichem Heizkonzept und Messgeräteschutz
Keine langfristige Neukalibrierung aufgrund von exzellenter Signalstabilität und Wiederholbarkeit, selbst bei anspruchsvollen Plasmaanwendungen
Prüfzeichen und Standards: CE, EN, UL, SEMI,RoHS

Anwendungen

Ätz-, CVD-,PVD-, und andere Halbleiterfertigungsprozesse
Chemische und korrosive Prozesse
Allgemeine Dünnschicht- und Vakuumprozesse, die Messgeräteschutz erfordern

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SKY® CAPACITANCE DIAPHRAGM GAUGE – AllCeramic™ CDG025-C

Vorteile

Keine metallischen Verunreinigungen
Geringe Nullpunktabweichung
Fast vollständig korrosionsbeständing - lange Sensorlebensdauer für weniger Ausfallzeiten und geringere Betriebskosten
Herausragende Genauigkeit und Wiederholbarkeit über eine lange Betriebsdauer
Längere Lebensdauer und höhere Temperaturstabilität
Kein Isolationsventil erforderlich ( je nach Betriebsmodus)
Weniger anfällig gegen Partikel und Prozessnebenprodukte durch Suprashield
Kürzeste Aufheizdauer
Niedrigere Investitionkosten
Direkter Ersatz vorhandener CDGs dank Schnittenstellenkompabilität

Anwendungen

Ätz-, CVD- und PVD-Prozesse
Dotierung von Silizium durch Implantations- oder Diffusionsprozesse
Oxidation
Erzeugung einer Gateoxidschicht im Bereich von 100nm
Erzeugung von Sperrschichten (Ti, TiN, Ta und TaN) als Schutzschicht zwischen Silizium und Aluminium oder Kupfer

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SKY® CAPACITANCE DIAPHRAGM GAUGE – AllCeramic™ CDG160A-C / CDG160A-CS

Vorteile

Der metallfreie ultrareine Keramikentwurf verhindert Metallverunreinigung
Die auf 160°C geregelte Temperatur verhindert die Kondensation von Prozessprodukten und -nebenprodukten
Der kompakte Entwurf spart wertvollen Platz und vereinfacht die Geräteintegration
Kompatibilität mit hoher Umgebungstemperatur
Eine verbesserte Partikelschutzkammer mit einem zusätzlichen Schutzschild (Suprashield) reduziert die Wahrscheinlichkeit einer Verunreinigung des Messgeräts
Der einzigartige Keramiksensorentwurf sorgt für Wiederholbarkeit und präzise Messungen mit exzellenter langfristiger Stabilität
Optionale Sollwert- und Statusanzeige bietet zusätzliche Kontrolle und Sicherheitsfunktionen

Anwendungen

Prozesse mit Oxidation, Diffusion und chemischer Niederdruckgasphasenabscheidung
Andere metallfreie Vakuummessanforderungen

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BAYARD-ALPERT PIRANI GAUGE – BPG400

Vorteile

Extrem großer Messbereich von 5x10 ^-10 mbar bis Atmosphärendruck (3,8x10 ^-10 Torr bis Atmosphärendruck)
Exzellente Wiederholbarkeit im Prozessdruckbereich von 10 ^-8... 10 ^-2 mbar von 5%
Die Pirani-Verriegelung schützt das Bayard-Alpert-System vor vorzeitigem Ausbrennen des Filaments und übermäßiger Verunreinigung durch Hochdruckbetrieb
Langlebiges Ytriumoxid- beschichtetes Iridiumfilament
Optionale grafische Anzeige und Feldbus-Schnittstellen erhältlich
Automatische Hochvakuum-Pirani-Justierung reduziert die erforderlichen Eingriffe durch den Betreiber

Anwendungen

Druckmessung in Halbleiterprozess- und Transferkammern
Industrielle Beschichtung
Allgemeine Vakuummessung und -steuerung im niedrigen bis ultrahohen Vakuumbereich

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BAYARD-ALPERT PIRANI GAUGE- BPG402-S

Vorteile

Extrem großer Messbereich von 5x10 ^-10 mbar bis Atmosphärendruck (3,8x10 ^-10 Torr bis Atmosphärendruck)
Exzellente Wiederholbarkeit im Prozessdruckbereich von 10 ^-8... 10 ^-2 mbar von 5%
Pirani-Verriegelung schützt das Filament vor vorzeitigem Ausbrennen
Duales langlebiges Ytriumoxid- beschichtetes Iridiumfilament
Optionale grafische Anzeige und Feldbus-Schnittstellen erhältlich
Automatische Hochvakuum-Pirani-Justierung reduziert die erforderlichen Eingriffe durch den Betreiber
Leicht auszuwechselndes Abtastelement mit Onboard-Kalibrierungsdaten garantiert hohe Reproduzierbarkeit

Anwendungen

Druckmessung in Halbleiterprozess- und Transferkammern
Industrielle Beschichtung
Allgemeine Vakuummessung und -steuerung im niedrigen bis ultrahohen Vakuumbereich

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HIGH PRESSURE HOT IONIZATION GAUGE – HPG400

Vorteile

Das HPG400 spart Kosten und Stellfläche und vereinfacht die Installation und Einrichtung des Vakuumsystems
Die Hochdruck-Heißionisierungsmessröhre liefert präzise, verlässliche Druckmessungen von 10 ^-5... 1 mbar für verbesserte Prozessteuerung
Vom Benutzer auswählbare Aktivierung heißer Ionenemission zwischen 5x 10 ^-2 und 1 mbar
Pirani-Verriegelung schützt das heiße Filament vor vorzeitigem Ausbrennen
Optionale grafische Anzeige und Feldbus-Schnittstellen erhältlich
Automatische Hochvakuum-Pirani-Justierung reduziert die erforderlichen Eingriffe durch den Betreiber

Anwendungen

Zerstäubungsanwendungen in der Halbleiterherstellung, Elektronik- und Medienindustrie
Industrielle Beschichtung
Allgemeine Vakuummessung und -steuerung im niedrigen bis hohen Vakuumbereich

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BAYARD-ALPERT PIRANI CAPACITANCE DIAPHGRAPM GAUGE – TripleGauge®BCG450

Vorteile

Die BCG450 spart Kosten und Stellfläche und reduziert die Komplexität von Installation und Einrichtung der Vakuummessung
Eine vom Gastyp unabhängige Druckmessung über 10Torr bietet eine zuverlässigere Schleusensteuerung bei beliebigen Gasmischungen
Pirani-Verriegelung schützt das heiße Filament vor vorzeitigem Ausbrennen
Durch die automatische Pirani-Justierung bei Hochvakuum und Atmosphärendruck sind weniger Eingriffe durch den Betreiber erforderlich
Die Differenzdruckmessung bei Normaldruck beseitigt Unbestimmtheiten hinsichtlich der Änderung des atmosphärischen Drucks
Das leicht auswechselbare Sensorelement mit integrierten Kalibrierungsdaten sorgt für garantierte Reproduzierbarkeit
Optionale grafische Anzeige und Feldbus-Schnittstellen erhältlich

Anwendungen

Druckmessung in Halbleiterprozessen,Transfer- und Schleusenkammern
Industrielle Beschichtung
Allgemeine Vakuummessung und -steuerung bei Systemen vom Grob- bis zum Ultrahochvakuumbereich

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PIRANI STANDARD GAUGE – PSG500/-S/PSG502-S/PSG510-5/PSG512-S

Vorteile

Einfache Anpassung von ATM und HV über Drucktasten
Platzsparendes, robustes Design
Alumiumgehäuse
Montage in beliebiger Position
Messzelle aus Edelstahl mit metallversiegelter Durchführung
Logarithmischer Signalausgang für einfache Integration
10 bar absoluter Überdruck mit Gewindeanschlüssen
250°C ausheizbare Version
Optionale Ausführung mit Nickelfilament für korrosive Anwendungen
Keramische Durchführungen für extrem korrosive Anwendungen (PSG510 und PSG512)
Optionale Sollwerte
RoHS-konform

Anwendungen

Steuern von Hochvakuum-Ionisierungsmessröhren
Vorvakuum-Drucküberwachung
Allgemeine Vakuummessung und -steuerung im Fein- und Grobvakuumbereich

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PIRANI STANDARD GAUGE – PSG550 / PSG552 / PSG554

Vorteile

Mit Wolfram-(PSG550) oder Nickelfilament(PSG552) oder mit vollständig keramikbeschichteter Sensoreinheit(PSG554) für hochkorrosive Anwendungen erhältlich
Optionale Anzeige, Sollwerte und Digitalschnittstellen erhältlich
Leicht auswechselbares Plug & Play- Sensorelement mit integrierten Kalibrierungsdaten, sorgt für hohe Reproduzierbarkeit und niedrige Betriebskosten
Geeignetes Ausgangssignal und verschiedene Stecker-Varianten für eine einfache Integration
Gestaltungsfreiheit beim Werkzeugdesign durch vielseitige Montagemöglichkeiten
Diagnoseanschluss bei allen Versionen

Anwendungen

Vorvakuum-Druckmessung
Sicherheitsstromkreise in Vakuumsystemen
Allgemeine Vakuummessung und -steuerung vom niedrigen bis hohen Vakuumbereich

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PIRANI CAPACITANCE DIAPHRAGM GAUGE – PCG550 / PCG552 / PCG554

Vorteile

Unabhängig vom Gastyp über 10mbar - sichere Lüftung mit beliebigen Gasmischungen
Hohe Genauigkeit und Reproduzierbarkeit bei Normaldruck für die zuverlässige Erkennung atmosphärischer Drücke
Schnelle Erkennung des Atmosphärendrucks verkürzt Wartezeiten und die Dauer des Prozesszyklus
Gestaltungsfreiheit beim Werkzeugdesign durch vielseitige Montagemöglichkeiten
Mit Wolfram (PCG550)- oder Nickelfilament(PCG552) oder mit vollständig keramikbeschichteter(PCG554) Sensoreinheit für hochkorrosive Anwendungen erhältlich
Leichtauswechselbares Plug & Play- Sensorelement mit integrierten Kalibrierungsdaten sorgt für hohe Reproduzierbarkeit und niedrige Betriebskosten
Geeignetes Ausgangssignal für einfache Integration
Optionaler atmosphärischer Schalter, Anzeige und Digitalschnittstellen erhältlich
Diagnoseanschluss bei allen Versionen

Anwendungen

Überwachung des Vorvakuumdruckes
Sicherheits-Schaltungen in Vakuumsystemen
Allgemeine Vakuum-Mess- und Regeltechnik auch für das Grobvakuum

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PENNING GAUGE – PEG100

Vorteile

Großer Messbereich von 5 x 10^-9 bis 1 x 10^-2 mbar (7,5 x 10 ^-10 bis 7,5 x 10 ^-2 Torr
Ganzmetallsensor mit Kaltkathode (Penning) und Keramikdurchführung
Neue Elektrodengeometrie sorgt für exzellente Zündeigenschaften
Verminderte Hochspannung nach der Plasmazündung sowie Titankathodenplatten verringern das Verunreinigungsrisiko, selbst während Kathodenzerstäubungsvorgängen mit Argon
Der Anodenring und die Titankathode können leicht gereinigt und ausgewechselt werden
Minimale Magnetfeldintensität in der Nähe des Messgeräts
LED- Anzeige für Stromversorgung und Plasmezündung
Logarithmisches analoges Ausgangssignal
Feldbusschnittstelle (Profibus DB, DeviceNet) für die einfache Integration in Vakuumsysteme mit Netzwerkkommunikation

Anwendungen

Hochvakuum-Drucküberwachung
Verdampfungs- und Kathodenzerstäubungssysteme
Allgemeine Vakuummessung und -steuerung im Fein- und Hochvakuumbereich

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INVERTED MAGNETRON PIRANI GAUGE – MPG400 / 401

Vorteile

Kombinationsmessgerät- invertiertes Magnetron und Pirani
Großer Messbereich von 5 x 10 ^-9 mbar bis Atmosphärendruck
Kein Filament, das ausbrennen könnte
Leicht zu Reinigen
FPM- oder metallversiegelte Durchführung
LED-Anzeige für anliegende Hochspannung
Logarithmisches analoges Ausgangssignal

Anwendungen

Hochvakuum-Drucküberwachung
Basisdruck für Verdampfungs- und Zerstäubungssysteme
Allgemeine Vakuummessung und -steuerung im Mittel- und Hochvakuumbereich

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