SKY® CAPACITANCE DIAPHRAGM GAUGE – AllCeramic™ CDG025-C

Vorteile
  • Keine metallischen Verunreinigungen
  • Geringe Nullpunktabweichung
  • Fast vollständig korrosionsbeständing - lange Sensorlebensdauer für weniger Ausfallzeiten und geringere Betriebskosten
  • Herausragende Genauigkeit und Wiederholbarkeit über eine lange Betriebsdauer
  • Längere Lebensdauer und höhere Temperaturstabilität
  • Kein Isolationsventil erforderlich ( je nach Betriebsmodus)
  • Weniger anfällig gegen Partikel und Prozessnebenprodukte durch Suprashield
  • Kürzeste Aufheizdauer
  • Niedrigere Investitionkosten
  • Direkter Ersatz vorhandener CDGs dank Schnittenstellenkompabilität
Anwendungen
  • Ätz-, CVD- und PVD-Prozesse
  • Dotierung von Silizium durch Implantations- oder Diffusionsprozesse
  • Oxidation
  • Erzeugung einer Gateoxidschicht im Bereich von 100nm
  • Erzeugung von Sperrschichten (Ti, TiN, Ta und TaN) als Schutzschicht zwischen Silizium und Aluminium oder Kupfer
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SKY® CAPACITANCE DIAPHRAGM GAUGE – AllCeramic™ CDG025-C

Sämtliche dem Vakuum ausgesetzten Oberflächen des SKY AllCeramic CDGs sind aus hochreiner Aluminiumoxidkeramik gefertigt, welche die Edelstahlrohrleitungen des herkömmlichen CDG ersetzen. Dieses Produkt ist für Anwendungen gedacht, bei denen metallische Verunreinigungen vermieden werden müssen.
– Gerne senden wir Ihnen für das ausgewählte Produkt ein ausführliches technisches Datenblatt zu, fragen sie uns danach!