BAYARD-ALPERT PIRANI CAPACITANCE DIAPHGRAPM GAUGE – TripleGauge®BCG450

Vorteile
  • Die BCG450 spart Kosten und Stellfläche und reduziert die Komplexität von Installation und Einrichtung der Vakuummessung
  • Eine vom Gastyp unabhängige Druckmessung über 10Torr bietet eine zuverlässigere Schleusensteuerung bei beliebigen Gasmischungen
  • Pirani-Verriegelung schützt das heiße Filament vor vorzeitigem Ausbrennen
  • Durch die automatische Pirani-Justierung bei Hochvakuum und Atmosphärendruck sind weniger Eingriffe durch den Betreiber erforderlich
  • Die Differenzdruckmessung bei Normaldruck beseitigt Unbestimmtheiten hinsichtlich der Änderung des atmosphärischen Drucks
  • Das leicht auswechselbare Sensorelement mit integrierten Kalibrierungsdaten sorgt für garantierte Reproduzierbarkeit
  • Optionale grafische Anzeige und Feldbus-Schnittstellen erhältlich
Anwendungen
  • Druckmessung in Halbleiterprozessen,Transfer- und Schleusenkammern
  • Industrielle Beschichtung
  • Allgemeine Vakuummessung und -steuerung bei Systemen vom Grob- bis zum Ultrahochvakuumbereich
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BAYARD-ALPERT PIRANI CAPACITANCE DIAPHGRAPM GAUGE – TripleGauge®BCG450

Die INFICON Bayard-Alpert Pirani Capacitance Diaphragm Gauge BCG450 kombiniert die Vorteile dreier unterschiedlicher Technologien in einem einzigen, kompakten und wirtschaftlichen Paket, um Prozess- und Basisdrücke von 5 x 10-10 bis 1500 mbar (3,75 x 10-10 bis 1125 Torr) zu messen. Die BCG450 ersetzt drei Sensoren (Heißionen-, konvektionsoptimierte Pirani- sowie Vakuumschaltersensoren) und reduziert somit Kosten und Stellfläche.

– Gerne senden wir Ihnen für das ausgewählte Produkt ein ausführliches technisches Datenblatt zu, fragen sie uns danach!