Reihe 61 HV-Regelklappenventil
Vakuum-Klappenventile
Die Reihe 61 HV-Regelklappenventile bieten herausragende Druckregelung und sind ideal für die Feinregelung in CVD- und ALD-Prozessen. Mit ihren schnellen und präzisen Bewegungsreglern (0,1 s) und der als Drosselelement wirkenden Teller, variieren sie den Leitwert der Ventilöffnung zur schnellen Erreichung des eingestellten Drucks. Der integrierte Druckregler berechnet die erforderliche Tellerposition für eine optimale Druckregelung.
Speziell für raue Downstream-Prozesse mit möglichen Partikeln im Gasstrom konzipiert, bleibt die Reihe 61 auch bei hoher Partikelbelastung und Ablagerungen voll funktionsfähig. Bereits in tausenden anspruchsvollen Anwendungen unter verschiedenen Prozessbedingungen bewährt, bietet die Baureihe 61 herausragende Zuverlässigkeit.