ISO-CF
ConFlat Flansche für Ultrahochvakuum-Systeme
nach ISO 3669

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ISO-CF Verbindungselemente


ISO-CF Flansche und Komponenten nach ISO 3669 / DIN 28404

 

ISO-CF Flansche (ConFlat-Flansche, kurz auch CF-Flansch genannt) sind das Standard-Verbindungssystem für Hoch- und Ultrahochvakuum-Anwendungen. Sie sind nach ISO 3669 genormt und nutzen metallische Dichtungen aus Weichmetall, meist Kupfer, um eine extrem hohe Dichtigkeit zu gewährleisten. Bei Wissel Vakuum finden Sie ein breites Sortiment an ISO-CF Flanschen und Zubehör – von Blindflanschen über Reduzierflansche bis hin zu passenden Kupferdichtungen.

 

Vorteile von ISO-CF Verbindungen

 

  • Extrem hohe Dichtigkeit (UHV-tauglich)

  • Temperaturstabil und bake-out geeignet

  • Korrosionsbeständig durch Edelstahl

  • Internationale Normierung (ISO/DIN)

  • Große Auswahl an Größen (DN16–DN250, Sondergrößen möglich)

 

Einsatzbereiche von ISO-CF Flanschen

 

  • Ultrahochvakuum (UHV)

  • Oberflächenphysik und Materialforschung

  • Halbleiterindustrie

  • Teilchen- und Kernforschung

  • Vakuum-Beschichtungsanlagen

  • Elektronenmikroskopie und Spektroskopie

 

Drehbare vs. feste ISO-CF Flansche - welche Ausführung passt?

Bei ISO-CF Flanschen unterscheidet man zwischen fester (nicht drehbarer) und drehbarer Ausführung. Bei der festen Variante ist der Flansch fix mit dem Rohransatz verschweißt – die Ausrichtung der Schraubenbohrungen steht damit bereits beim Einbau fest. Die drehbare Ausführung besitzt einen frei drehbaren Losflansch, der erst beim Verschrauben in die passende Position gebracht wird.

In der Praxis empfiehlt sich die drehbare Variante überall dort, wo die Ausrichtung der Bohrungen zur Gegenseite erst bei der Montage feststeht oder wo Systeme öfter demontiert und neu ausgerichtet werden müssen, etwa in Versuchsaufbauten und Laboranlagen. Die feste Ausführung ist die wirtschaftlichere Wahl bei dauerhaft verbauten Verbindungen, deren Ausrichtung von vornherein bekannt ist.

Bei Wissel Vakuum erhalten Sie beide Ausführungen für alle gängigen ISO-CF Bauteile, Blindflansch, Anschweissflansch und Flansch mit Rohransatz,  jeweils drehbar und fest ab Lager lieferbar.

Aufbau und Funktionsweise einer ISO-CF Flanschverbindung

 

ISO-CF Flanschverbindungen – auch als ConFlat-Flansche bekannt – sind der etablierte Standard für Hochvakuum- und Ultrahochvakuum-Anwendungen (UHV). Sie bestehen aus zwei Edelstahlflanschen, einem Kupferdichtring als Weichmetall-Dichtung sowie Schrauben und Muttern, die die Flansche zusammenpressen.

Bei der Montage wird der Kupferring zwischen die Dichtflächen gelegt. Beim Anziehen der Schrauben verformt sich das Kupfer plastisch in die präzise gearbeiteten Dichtkanten und erzeugt eine dauerhaft metallische, vakuumdichte Verbindung. Dieses Prinzip ermöglicht Leckraten bis <10⁻¹² mbar und ist daher unverzichtbar für UHV-Systeme.

Eine typische ISO-CF Verbindung eignet sich für Nenngrößen von DN16 bis DN250. Dank der Normierung nach ISO 3669  sind Bauteile verschiedener Hersteller weltweit kompatibel. Zwar muss der Kupferring bei jeder Demontage ersetzt werden, die Flansche selbst sind jedoch mehrfach wiederverwendbar.

Durch ihre hohe Dichtheit und Temperaturbeständigkeit werden ISO-CF Flansche vor allem in der Oberflächenphysik, Halbleiterfertigung, Vakuumbeschichtung, Elektronenmikroskopie und Teilchenforschung eingesetzt. Bei Wissel Vakuum erhalten Sie ein breites Sortiment an ISO-CF Flanschen, Dichtungen und Zubehör – inklusive kompetenter technischer Beratung für Ihre Anwendung.

 

Häufige Fragen zu ISO-CF Flanschen

Was ist ein ConFlat-Flansch (CF-Flansch)?
Ein ConFlat-Flansch (ISO-CF, kurz CF-Flansch) ist ein genormtes Verbindungssystem für Ultrahochvakuum nach ISO 3669. Zwei Edelstahlflansche werden mit einem Kupferdichtring verschraubt, der Kupferring verformt sich beim Anziehen plastisch und erzeugt eine metallisch dichte Verbindung mit Leckraten bis <10⁻¹² mbar.

Welche Größen gibt es bei ISO-CF Flanschen?
ISO-CF Flansche sind in Nenngrößen von DN16 bis DN250 erhältlich, Sondergrößen auf Anfrage möglich.

Warum wird bei ISO-CF eine Kupferdichtung verwendet?
Kupfer ist ein Weichmetall und verformt sich beim Verschrauben plastisch in die Dichtkanten der Flansche. Das erzeugt eine dauerhaft metallische Verbindung, die deutlich dichter und temperaturbeständiger ist als Elastomerdichtungen, entscheidend für Ultrahochvakuum und Bake-out-Prozesse. Der Kupferring muss bei jeder Demontage erneuert werden, die Flansche selbst sind wiederverwendbar.

Was ist der Unterschied zwischen ISO-CF und ISO-KF?
ISO-CF (ConFlat) ist für Ultrahochvakuum ausgelegt und nutzt eine Kupfer-Dichtung mit Schraubverbindung, Nenngrößen DN16-250. ISO-KF (Kleinflansch) ist für Hoch- und Feinvakuum ausgelegt, nutzt einen O-Ring mit Spannring und ist werkzeuglos montierbar, Nenngrößen DN10-50. ISO-CF erreicht deutlich niedrigere Enddrücke, ISO-KF ist schneller montiert und demontiert.

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