Vakuumventile und Vakuumschieber
Original VAT-Ventile für präzise Prozesskontrolle unter Vakuum

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Vakuumventile und Schieber von VAT AG – Präzision für Hochvakuum und UHV

 

Die Vakuumventile und Schieber der VAT AG gelten weltweit als Maßstab für Qualität, Präzision und Zuverlässigkeit in der Vakuumtechnik. Sie kommen überall dort zum Einsatz, wo höchste Anforderungen an Dichtheit, Prozesssicherheit und Lebensdauer gestellt werden. Ob in der Halbleiterproduktion, in Beschichtungsanlagen, in der Forschung oder in industriellen Vakuumsystemen – VAT Ventile und Schieber sorgen für einen kontrollierten und sicheren Betrieb.

Im Sortiment von Wissel Vakuum finden Sie eine große Auswahl an VAT Produkten, die speziell für den Einsatz im Hochvakuum und Ultrahochvakuum (UHV) entwickelt wurden. Neben klassischen Klappenventilen und Schieberventilen bieten wir auch Pendelventile, Drehschieberventile sowie maßgeschneiderte Sonderlösungen, die auf spezifische Anforderungen zugeschnitten sind.

Aufbau und Funktionsweise von Vakuumventilen

 

Ein Vakuumventil dient der gezielten Steuerung und Abdichtung von Gasströmen in einer Vakuumleitung oder -kammer. Die Produkte der VAT AG zeichnen sich durch ihre hochpräzise Fertigung und die Verwendung hochwertiger Materialien wie Edelstahl und spezielle Dichtungen aus.
Der Aufbau hängt von der jeweiligen Bauform ab, doch grundsätzlich bestehen Vakuumventile aus einem Ventilgehäuse, einem Dichtmechanismus (z. B. O-Ring, Metallbalg oder spezielle Membran), einem Betätigungsmechanismus (manuell, pneumatisch oder elektrisch) und gegebenenfalls einer Steuerungseinheit für automatisierte Prozesse.

Die Funktionsweise ist ebenso vielfältig:

  • Klappenventile verschließen den Gasstrom über eine bewegliche Klappe.

  • Schieberventile arbeiten mit einer linearen Bewegung und sind ideal für größere Leitungen.

  • Pendelventile sorgen für eine kompakte Bauform und eine schnelle Betätigung.

  • Sonderventile decken spezifische Anforderungen wie besonders hohe Dichtheitsklassen, schnelle Schaltzyklen oder extrem lange Lebensdauer ab.

 

 

Einsatzbereiche der VAT Ventile

 

Die Vielseitigkeit von VAT Vakuumventilen und Schiebern zeigt sich in ihrer breiten Anwendungspalette:

  • Halbleiterfertigung: Prozesssteuerung in Lithografie-, Ätz- oder Beschichtungsanlagen.

  • Vakuumbeschichtung: Steuerung von Gasströmen in PVD- und CVD-Anlagen.

  • Forschung und Entwicklung: Einsatz in Laboren, Hochschulen und Forschungsinstituten.

  • Analytik: Anwendungen in Massenspektrometern, Elektronenmikroskopen oder Spektroskopie.

  • Industrieanlagen: Integration in komplexe Vakuumsysteme mit hohen Anforderungen an Stabilität und Langlebigkeit.

Gerade in sensiblen Umgebungen, in denen kleinste Leckagen zu Verunreinigungen oder Prozessfehlern führen können, spielen VAT Ventile ihre Stärken voll aus.

Sortiment bei Wissel Vakuum

 

Als Partner für hochwertige Vakuumtechnik bietet Wissel Vakuum Ihnen ein umfassendes Sortiment an VAT Produkten:

  • Klappenventile für kompakte Installationen

  • Schieberventile für große Vakuumleitungen

  • Pendelventile für Anwendungen mit begrenztem Bauraum

  • Spezial- und Sonderventile für besondere Anforderungen

  • Original-Ersatzteile und Zubehör wie Dichtungen und Steuerungen

 

Darüber hinaus beraten wir Sie individuell bei der Auswahl der passenden Komponenten und unterstützen Sie bei der Integration in bestehende Systeme.

 

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