SKY® CAPACITANCE DIAPHRAGM GAUGE – CDG160D / CDG200D

Vorteile
  • Niedrigere Betriebskosten, 50% schnellere Aufheizung, energieeffizienter niedriger Stromverbrauch
  • Einfache Integration, breites Spektrum an Vollskalen, Flanschen und Schnittstellen, standardmäßig mit zwei Sollwerten
  • Einfacher Nullbefehl per Tastendruck oder Remotesignal, Nullpunktverschiebung einstellbar
  • Diagnoseanschluss für schnellere Wartungsarbeiten
  • Zwei Jahre Garantie, längere Lebensdauer mit fortschrittlichem Heizkonzept und Messgeräteschutz
  • Keine langfristige Neukalibrierung aufgrund von exzellenter Signalstabilität und Wiederholbarkeit, selbst bei anspruchsvollen Plasmaanwendungen
  • Prüfzeichen und Standards: CE, EN, UL, SEMI,RoHS
Anwendungen
  • Ätz-, CVD-,PVD-, und andere Halbleiterfertigungsprozesse
  • Chemische und korrosive Prozesse
  • Allgemeine Dünnschicht- und Vakuumprozesse, die Messgeräteschutz erfordern
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SKY® CAPACITANCE DIAPHRAGM GAUGE – CDG160D / CDG200D

Die Hochtemperatur-Druckmesser SKY CDG160D und CDG200D von INFICON sind die beste Wahl für genaue Druckmessung und –steuerung. CDG160D- und CDG200-Messgeräte sind temperaturgesteuert auf 160 bzw. 200°C für bessere Leistung bei anspruchsvollen Halbleiter- und Plasmaprozessen. Sie sind erhältlich für Vollskalabereiche von 1 Torr bis 1000 Torr mit allen gebräuchlichen Flanschtypen und Feldbusschnittstellen und stellen ein lineares, vom Gastyp unabhängiges Drucksignal von 0 bis 10V bereit. Kapazitätsmanometer von INFICON verwenden eine ultrareine korrosionsbeständige Keramikmembran aus Aluminiumoxid. Die Vorteile des Keramiksensors sind eine bessere Signalstabilität, schnellere Wiederherstellung von Atmosphärendruck, kurze Aufheizdauer und eine außerordentlich lange Lebensdauer. INFICON CDGs sind qualitativ hochwertige, kosteneffektive Drucksensoren für anspruchsvolle Halbleiter-, Plasma und Vakuumanwendungen.

–          Gerne senden wir Ihnen für das ausgewählte Produkt ein ausführliches technisches Datenblatt zu, fragen sie uns danach!