SKY® CDG160D
Kapazitätsmanometer
INFICON SKY CDG160D-Hochtemperaturmanometer sind die beste Wahl für präzise Gesamtdruckmessung und -regelung. CDG160D-Messgeräte sind zur besseren Leistung in anspruchsvollen Halbleiter- und Plasmaprozessen auf 160 °C temperaturgeregelt.
Sie sind erhältlich für Vollskalabereiche von 1 Torr bis 1000 Torr mit allen gebräuchlichen Flanschtypen und Feldbusschnittstellen und liefern ein lineares, vom Gastyp unabhängiges Drucksignal von 0 bis 10 V. Kapazitätsmanometer von INFICON verwenden eine ultrareine korrosionsbeständige Keramikmembran aus Aluminiumoxid.
Die Vorteile des Keramiksensors sind eine bessere Signalstabilität, schnellere Wiederherstellung von Atmosphärendruck, kurze Aufheizdauer und eine außerordentlich lange Lebensdauer. INFICON CDGs sind qualitativ hochwertige, kosteneffektive Drucksensoren für anspruchsvolle Halbleiter-, Plasma- und Vakuumanwendungen.