Hochwertige Vakuummessgeräte und Controller – Präzision für Forschung, Industrie und Halbleiterfertigung
Die Vakuummessgeräte und Controller der Inficon AG gelten weltweit als Maßstab für Genauigkeit, Zuverlässigkeit und Innovationskraft. Überall dort, wo präzise Vakuummessung den Unterschied macht – in der Halbleiterproduktion, in Beschichtungsanlagen, in der Forschung oder in industriellen Vakuumsystemen – sorgen Inficon Produkte für eine zuverlässige Prozesskontrolle.
Im Sortiment von Wissel Vakuum finden Sie eine große Auswahl an Inficon Messgeräten und Zubehör, die speziell für den Einsatz im Hochvakuum und Ultrahochvakuum (UHV) entwickelt wurden. Von Pirani-Sensoren über Kapazitätsmanometer bis hin zu kombinierten Messsystemen – Inficon bietet Lösungen für nahezu alle Druckbereiche.
Aufbau und Funktionsweise von Vakuummessgeräten
Ein Vakuummessgerät dient der präzisen Bestimmung des Drucks in einer Vakuumkammer oder Leitung. Inficon setzt dafür auf verschiedene Messprinzipien, die je nach Druckbereich optimal eingesetzt werden:
-
Pirani-Messgeräte – bewährt für Niedervakuumbereiche, arbeiten nach dem Wärmeleitfähigkeitsprinzip.
-
Kapazitätsmanometer – hochgenau, unabhängig vom Gas, ideal für präzise Prozesskontrolle.
-
Kaltkathoden- und Heißkathoden-Ionisationsmessgeräte – geeignet für Hoch- und Ultrahochvakuum.
-
Kombinationsmessgeräte – verbinden mehrere Messprinzipien in einem Gerät, um einen großen Druckbereich zuverlässig abzudecken.
Die Messwerte können über digitale Controller angezeigt, dokumentiert und in Prozesssteuerungen integriert werden. Inficon Geräte zeichnen sich durch robuste Bauweise, schnelle Ansprechzeit und hohe Wiederholgenauigkeit aus.
Einsatzbereiche der Inficon Messtechnik
Die Vielseitigkeit der Inficon Messgeräte zeigt sich in ihrer breiten Anwendungspalette:
-
Halbleiterfertigung – präzise Druckregelung in Lithografie-, Ätz- und Beschichtungsanlagen.
-
Vakuumbeschichtung – Prozesskontrolle in PVD- und CVD-Anlagen.
-
Forschung und Entwicklung – zuverlässige Messung in Laboren, Hochschulen und Forschungsinstituten.
-
Analytik – Einsatz in Massenspektrometern, Elektronenmikroskopen oder Spektroskopie.
-
Industrieanlagen – Überwachung und Steuerung komplexer Vakuumsysteme mit hohen Anforderungen an Stabilität und Genauigkeit.
Gerade in sensiblen Umgebungen, in denen exakte Druckwerte entscheidend für die Qualität des Prozesses sind, spielen Inficon Geräte ihre Stärken aus.
Sortiment bei Wissel Vakuum
Als Partner für hochwertige Vakuumtechnik bietet Wissel Vakuum Ihnen ein umfassendes Sortiment an Inficon Produkten:
-
Pirani-Sensoren und kombinierte Druckmessgeräte
-
Kapazitätsmanometer für präzise Prozesskontrolle
-
Heiß- und Kaltkathodenmessgeräte für HV- und UHV-Anwendungen
-
Digitale Controller und Auswerteeinheiten
-
Original Zubehör und Ersatzteile
Darüber hinaus beraten wir Sie individuell bei der Auswahl der passenden Messtechnik und unterstützen Sie bei der Integration in bestehende Systeme.
