ISO-CF Flansche und Komponenten nach ISO 3669 / DIN 28404
ISO-CF Flansche (ConFlat-Flansche) sind das Standard-Verbindungssystem für Hoch- und Ultrahochvakuum-Anwendungen. Sie sind nach ISO 3669 genormt und nutzen metallische Dichtungen aus Weichmetall, meist Kupfer, um eine extrem hohe Dichtigkeit zu gewährleisten. Bei Wissel Vakuum finden Sie ein breites Sortiment an ISO-CF Flanschen und Zubehör – von Blindflanschen über Reduzierflansche bis hin zu passenden Kupferdichtungen.
Einsatzbereiche von ISO-CF Flanschen
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Ultrahochvakuum (UHV)
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Oberflächenphysik und Materialforschung
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Halbleiterindustrie
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Teilchen- und Kernforschung
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Vakuum-Beschichtungsanlagen
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Elektronenmikroskopie und Spektroskopie
Aufbau und Funktionsweise einer ISO-CF Flanschverbindung
ISO-CF Flanschverbindungen – auch als ConFlat-Flansche bekannt – sind der etablierte Standard für Hochvakuum- und Ultrahochvakuum-Anwendungen (UHV). Sie bestehen aus zwei Edelstahlflanschen, einem Kupferdichtring als Weichmetall-Dichtung sowie Schrauben und Muttern, die die Flansche zusammenpressen.
Bei der Montage wird der Kupferring zwischen die Dichtflächen gelegt. Beim Anziehen der Schrauben verformt sich das Kupfer plastisch in die präzise gearbeiteten Dichtkanten und erzeugt eine dauerhaft metallische, vakuumdichte Verbindung. Dieses Prinzip ermöglicht Leckraten bis <10⁻¹² mbar und ist daher unverzichtbar für UHV-Systeme.
Eine typische ISO-CF Verbindung eignet sich für Nenngrößen von DN16 bis DN250. Dank der Normierung nach ISO 3669 sind Bauteile verschiedener Hersteller weltweit kompatibel. Zwar muss der Kupferring bei jeder Demontage ersetzt werden, die Flansche selbst sind jedoch mehrfach wiederverwendbar.
Durch ihre hohe Dichtheit und Temperaturbeständigkeit werden ISO-CF Flansche vor allem in der Oberflächenphysik, Halbleiterfertigung, Vakuumbeschichtung, Elektronenmikroskopie und Teilchenforschung eingesetzt. Bei Wissel Vakuum erhalten Sie ein breites Sortiment an ISO-CF Flanschen, Dichtungen und Zubehör – inklusive kompetenter technischer Beratung für Ihre Anwendung.
Vorteile von ISO-CF Verbindungen
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Extrem hohe Dichtigkeit (UHV-tauglich)
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Temperaturstabil und bake-out geeignet
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Korrosionsbeständig durch Edelstahl
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Internationale Normierung (ISO/DIN)
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Große Auswahl an Größen (DN16–DN250, Sondergrößen möglich)
